Tester nanomeccanico e interferometro

TESTER NANOMECCANICO A SCANSIONE

Tester nanomeccanico a scansioneQuesto modulo è stato ideato per condurre complessi esperimenti di ricerca sulle proprietà meccaniche sotto carico fino a 100mN, utilizzando metodi di scratch e indentazione. E’ inoltre utilizzato per lo studio della superficie con metodi SPM a semi-contatto.

Misure e Metodi

  • Scansione topografica dinamica a semi-contatto
  • Indentazione e scratching con settaggio di carico o profondità
  • Misure di durezza allo scratch
  • Misure di durezza d’impronta d’indentazione residua
  • Proprietà meccaniche di Indentazione strumentale conforme con ISO 14577
  • Misure di modulo elastico attraverso spettroscopia di forza
  • Proprietà meccaniche di materiali e dei rivestimenti sottili (durezza, adesione, spessore) con scratch a carico variabile
  • Misure di resistenza all’usura di rivestimenti sottili
  • Profilo delle superfici

Specifiche Tecniche

  • Range di misura XY non inferiore a 100 μm
  • Risoluzione posizionamento XY: 2 nm
  • Range di misura asse Z non inferiore a 10 μm
  • Risoluzione asse Z axis 0.2 nm
  • Carico massimo: 50 mN
  • Risoluzione del Carico : 0.5 μm

INTERFEROMETRO LASER HETERODYNE A 3 ASSI

Interferometro laser Heterodyne a 3 assiL’interferometro è utilizzato per misure metrologiche di strutture di superfice. La sorgente monocromatica è un Laser He-Ne a 633nm con potenza 1mW, con una instabilità relativa non superiore a 3.10-9 in 8 ore.
Questo modulo viene utilizzato per una identificazione delle caratteristiche metrologiche di altri SPMs, per misure accurate delle dimensioni lineari in scala nanometrica e per il Controllo qualità di prodotti nanotecnologici.

Misure e Metodi

  • Hardware and software compatibile Tester nano meccanico a scansione
  • Hardware and software compatibile con modulo AFM
  • Mappatuta topografica della superfice durante la scansione SPM e AFM

Specifiche tecniche

  • Range di misura assi XYZ: 500 μm
  • Risoluzione dei 3 assi (non meno di): 0.01 nm
  • Rumore di fondo interferometro, RMS in frequenza da 1 Hz a 1 kHz (non più di): 1 nm
  • Nonortogonalità dell’asse nella misura di spostamento: 0.01 radian
  • Range fase spostamento: ±1*104 radian
  • Risoluzione fase spostamento: 10-4 radian
  • Risoluzione misura tempo: 1 ms
  • Rate massimo di scansione: 100 μm/s
  • Calore rilasciato nell’area di lavoro (non più di): 5 W

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